為確保半導體關鍵產業優勢，經濟部已規劃推動半導體材料及設備自主，啟動自主開發、目前吸引美國、日本及荷蘭材料、設備大
廠來台灣投資或研發，帶動國內材料與設備成長，不僅將擴大半導體生態系，也有助台灣成為全球半導體先進製造中心。
舉例來說，透過「A世代─半導體設備整機驗證計畫」推動設備在地化。2021年核定通過13案次，包含漢辰、天虹、弘塑、億力鑫等業者開發前段晶圓製程之離子佈植、物理氣相沉積設備及後段先進封裝製程之物理氣相沉積、塗佈顯影等設備，協助導入至半導體國際指標終端業者（台積電、日月光等）驗證，建立我國半導體設備自主技術能力。
半導體材料部分，經濟部表示，2021年迄今已有三菱瓦斯、昭和電工、三井化學、英特格、德山、默克等在台投資，其中默克五至七年內預計投資170億元在高雄擴產，並打造全球首座「大型半導體材料生產暨研發中心」，強化台灣半導體產業競爭力。
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經濟部表示，藉由A世代計畫補助新應材、達興材料、長興材料、環球晶圓、華新科技、宇川精密、台灣永光等七家業者開發半導體關鍵材料，但目前尚在進行下游業者之公開（β-site）測試驗證中，藉此培植國內廠商之關鍵材料自主技術。
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